PH3Phosphine
| 产品规格 Specifications |
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| UL-PH3 | S-PH3 | |||
| Purity | ＞99.9999 | vol.％ | ＞99.9998 | vol.％ |
| Impurity | ||||
| N2 | ＜0.5 | vol.ppm | ＜1 | vol.ppm |
| O2 | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2O | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| SiH4 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.05 | vol.ppm |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| ※AsH3 | ＜0.5 | vol.ppm | - | |
| ※X | ＜0.001 | vol.ppm | - | |
| H.C. | - | - | ||
| GeH4 | - | - | ||
※纯度定义除外
| 其他的制品规格 Specifications |
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| Purity | ＞99.9995 | vol.％ | ＞99.999 | vol.％ |
| 钢瓶,充填量 Cylinder/Content |
钢瓶阀门 Valve |
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| 48ℓ： | ～9kg （4.1MPa） | JIS.W22-14L |
| 9.4ℓ： | ～1.5kg （3.2MPa） | |
| 特殊高压气体 | |
| 分子量 Molecular Weight | 34.00 |
| 联合国编号 UN Code | 2199 |
| 容许浓度 Permissible Concentration | TWA 0.3ppm 0.42mg/㎥ |
| 外 观 Description | 无色气体 Colorless Gas |
| 臭 气 Odor | 腐烂鱼臭 Odor of Decaying Fish |
| 比 重 Specific Gravity | 1.184（25℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -87.7℃ |
| 气体密度 Density (Vapor) | 1.4024kg/㎥ （25℃） |
| 液体密度 Density (Liquid) | 0.744kg/ℓ（-87.7℃） |
| 燃烧范围 Sphere of Explosion | 1.32～98％ |
