SiHCl3Trichlorosilane
| 产品规格 Specifications |
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| Purity | ＞99.99 | wt.％ |
| Impurity | ||
| SiCl4 | ＜100 | wt.ppm |
| SiH2Cl2 | ＜100 | wt.ppm |
| SiH3Cl | ＜10 | wt.ppm |
| 钢瓶,充填量 Cylinder/Content |
钢瓶阀门 Valve |
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| 28.4ℓ： | 20kg | Swagelok |
| 特殊高压气体 | |
| 分子量 Molecular Weight | 135.45 |
| 联合国编号 UN Code | 1295 |
| 容许浓度 Permissible Concentration | TLV未设定（参考：TLV-C 2ppm 3.0mg/㎥ as HCL） |
| 外 观 Description | 无色液体 Colorless Liquid |
| 臭 气 Odor | 刺激气味 Pungent Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 4.70 |
| 沸 点 Boiling Point | 31.8℃ |
| 液体密度 Density (Liquid) | 1.3417kg/ℓ （20℃） |
| 燃烧范围 Sphere of Explosion | 6～83vol.％ |
| 引火点 Flash Point | −27～26℃ |
| 発火点 Ignition Point | 93～104℃ |
