大陽日酸

Electronics Gas
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SiH4 Silane

产品规格
Specifications
Purity >99.9995 vol.%
Impurity    
N2 <1 vol.ppm
O2+Ar <1 vol.ppm
CO <0.1 vol.ppm
CO2 <0.1 vol.ppm
CH4 <0.1 vol.ppm
T-CL <0.5 vol.ppm
H2O <0.5 vol.ppm
钢瓶,充填量
Cylinder/Content
钢瓶阀门
Valve
47L 10kg: 7.1MPa(20℃),8.13MPa(30℃),8.62MPa(35℃) JIS.W22-14L/
DISS632 *option
混合气体
Mixed Gas
基础气体
Balance Gas
制造浓度
Concentration
充塡圧力
Pressure
钢瓶
Cylinder
钢瓶阀门
Valve
N2,Ar,He,H2 10ppm~50% 10ppm~10%
11~20%
21~50%
14.7MPa
11.8MPa
4.9MPa
47ℓ/10ℓ JIS.W22-14L/
DISS632 *option
物性数据
特殊高压气体
分子量 Molecular Weight 32.12
联合国编号 UN Code 2203
容许浓度 Permissible Concentration TLV-TWA 5ppm 6.6mg/㎥
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 臭味微弱,高浓度下具有恶臭
Repulsive Odor
比 重 Specific Gravity 1.114 (20℃,0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -111.5℃
气体密度 Density (Vapor) 1.342Kg/㎥ (20℃,0.1MPa)
液体密度 Density (Liquid) 0.68kg/ℓ (-185℃)
燃烧范围 Sphere of Explosion 1.35~98%
致突变性 Mutagenicity 阳性 Positive