大陽日酸

Electronics Gas
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GeH4 Germane

产品规格
Specifications
Purity >99.99 vol.%
Impurity    
Ar+O2 <1 vol.ppm
N2 <2 vol.ppm
H2 <90 vol.ppm
CO <1 vol.ppm
CO2 <2 vol.ppm
CH4 <1 vol.ppm
H2O <1 vol.ppm
T-Cl <1 vol.ppm
钢瓶,充填量
Cylinder/Content
钢瓶阀门
Valve
47ℓ: ~500g JIS.W22-14L
10ℓ: ~100g
基础气体
Balance Gas
混合气体濃度区分(MPa) 钢瓶阀门
Valve
<1% <5% ≦10%
N2,Ar,He ≦11.8 ≦6.4 ≦4.4 JIS.W22-14L
H2 ≦11.8 ≦7.8 ≦5.4
物性数据
特殊高压气体
分子量 Molecular Weight 76.642
联合国编号 UN Code 2192
容许浓度 Permissible Concentration TLV-TWA 0.2ppm 0.6mg/㎥
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 特有的刺激性臭味 Characteristic Pungent Odor
比 重 Specific Gravity 2.645(0℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -88.4℃
气体密度 Density (Vapor) 3.420kg/㎥ (0℃, 0.1MPa)
液体密度 Density (Liquid) 1.523kg/ℓ(-142℃)