大陽日酸

Electronics Gas
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Si2H6 Disilane

产品规格
Specifications
Purity >99.99 vol.%
Impurity    
N2 <1 vol.ppm
O2 <1 vol.ppm
H2 <100 vol.ppm
THC <5 vol.ppm
TーCL <0.2 vol.ppm
H2O <5 vol.ppm
钢瓶,充填量
Cylinder/Content
钢瓶阀门
Valve
47ℓ: ~10kg JIS.W22-14L/
DISS632 *option
10ℓ: ~2kg
混合气体
Mixed Gas
基础气体
Balance Gas
制造浓度
Concentration
充塡圧力
Pressure
钢瓶
Cylinder
钢瓶阀门
Valve
N2,Ar,He,H2 10ppm~30% 10ppm~1%
9.81MPa
48ℓ JIS.W22-14L/
DISS632 ※option
2%
3~5%
6~30%
7.4MPa
2.9MPa
1.5MPa
47ℓ/10ℓ
物性数据
特殊高压气体
分子量 Molecular Weight 62.22
联合国编号 UN Code 3161
容许浓度 Permissible Concentration TLV-TWA 5ppm(参考:TLV-TWA 5ppm as SiH4
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 不快臭 Pungent Odor
比 重 Specific Gravity 2.297
沸 点 Boiling Point -14.5℃
气体密度 Density (Vapor) 2.858kg/m3(0℃,1atm)
液体密度 Density (Liquid) 0.878kg/ℓ(0℃)
燃烧范围 Sphere of Explosion 0.5~100%(未満)