大陽日酸

Electronics Gas
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SiH (CH3) 3 Trimethyl Silane

产品规格
Specifications
Purity >99.99 vol.%
Impurity    
H2 <50 vol.ppm
Ar+O2 <2 vol.ppm
N2 <2 vol.ppm
CO <1 vol.ppm
CH4 <5 vol.ppm
CO2 <1 vol.ppm
THC <5 vol.ppm
T-Cl <1 vol.ppm
H2O <1 vol.ppm
全炭化水素 <5 vol.ppm
混合气体
Mixed Gas
基础气体
Balance Gas
制造浓度
Concentration
充塡圧力
Pressure
钢瓶
Cylinder
钢瓶阀门
Valve
N2,Ar,He,H2 100ppm~10% 100~5400ppm
1%
2%
3~5%
6~10%
14.7MPa
7.8MPa
3.9MPa
1.5MPa
0.7MPa
47ℓ/10ℓ/3.4ℓ JIS.W22-14L
物性数据
高压气体
分子量 Molecular Weight 74.20
联合国编号 UN Code 3161
容许浓度 Permissible Concentration 未设定(参考値5ppm)
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 无臭 Odorless
比 重 Specific Gravity 0.63
触 点 Melting Point -135.9℃
沸 点 Boiling Point 6.7℃
蒸気圧 Vapor Pressure 0.15MPa(20℃)