大陽日酸

Electronics Gas
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SiF4 Silicon Tetrafluoride

产品规格
Specifications
Purity >99.999 vol.%
Impurity    
N2 <4.0 vol.ppm
O2 <0.5 vol.ppm
CO <0.1 vol.ppm
CO2 <3.0 vol.ppm
CH4 <0.1 vol.ppm
SO2 <0.1 vol.ppm
H2S <0.1 vol.ppm
钢瓶,充填量
Cylinder/Content
钢瓶阀门
Valve
47ℓ: ~10kg JIS.W22-14L/
DISS636 *option
10ℓ: ~5kg
物性数据
高压气体
分子量 Molecular Weight 104.08
联合国编号 UN Code 1859
容许浓度 Permissible Concentration TLV未设定
(参考:TLV-TWA 2.5mg(F)/㎥)
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 具有窒息性臭气或刺激性臭味 Repulsive Odor
比 重 Specific Gravity 3.63(20℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -95.1℃
气体密度 Density (Vapor) 4.370kg/㎥ (20℃, 0.1MPa)
液体密度 Density (Liquid) 1.590kg/ℓ(-80℃)