大陽日酸

Electronics Gas
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NF3Nitrogen Trifluoride

产品规格
Specifications
Purity >99.99 vol.%
Impurity    
N2 <30 vol.ppm
O2 <10 vol.ppm
CO2 <10 vol.ppm
CF4 <40 vol.ppm
N2O <10 vol.ppm
H2O <5 vol.ppm
钢瓶,充填量
Cylinder/Content
钢瓶阀门
Valve
47ℓ: ~20kg(10.8MPa) JIS.W22-14R/L/
DISS640 *option
10ℓ: ~3kg(8.5MPa)
物性数据
高压气体
分子量 Molecular Weight 71.00
联合国编号 UN Code 2451
容许浓度 Permissible Concentration TLV-TWA 10ppm 29mg/㎥
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 无臭 Odorless
比 重 Specific Gravity 2.46(20℃,0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -129.0℃
气体密度 Density(Vapor) 2.96kg/㎥ (20℃)
液体密度 Density(Liquid) 1.531kg/ℓ(-129.0℃)
致突变性 Mutagenicity 阳性 Positive