CF4Tetrafluoromethane
产品规格 Specifications |
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Purity | >99.999 | vol.% |
Impurity | ||
N2 | <5 | vol.ppm |
O2 | <1 | vol.ppm |
CCIF3 | <1 | vol.ppm |
CHF3 | <1 | vol.ppm |
C2F6 | <1 | vol.ppm |
H2O | <2.0 | vol.ppm |
钢瓶,充填量 Cylinder/Content |
钢瓶阀门 Valve |
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47ℓ: | ~32kg(14.7MPa) | JIS.W22-14R/L/ DISS716 *option |
10ℓ: | ~7.0kg(14.7MPa) |
混合气体 Mixed G |
基础气体 Balance Gas |
成分气体 Content Gas |
充塡圧力 Pressure |
钢瓶 Cylinder |
钢瓶阀门 Valve |
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气体名称 Gas Name |
濃度 Concentration |
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CF4 | O2 | 1~50% | Max.14.7MPa | 47ℓ/10ℓ/3.4ℓ | JIS.W22-14L |
特殊高压气体 | |
分子量 Molecular Weight | 88.01 |
联合国编号 UN Code | 1982 |
外 观 Description | 无色气体 Colorless Gas |
臭 气 Odor | 无臭 Odorless |
比 重 Specific Gravity | 3.06(0℃, 0.1MPa) |
沸 点 Boiling Point | -128.0℃ |
气体密度 Density (Vapor) | 3.929kg/㎥(0℃, 0.1MPa) |
液体密度 Density(Liquid) | 1.33kg/ℓ(-80℃) |