大陽日酸

Electronics Gas
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CF4Tetrafluoromethane

产品规格
Specifications
Purity >99.999 vol.%
Impurity    
N2 <5 vol.ppm
O2 <1 vol.ppm
CCIF3 <1 vol.ppm
CHF3 <1 vol.ppm
C2F6 <1 vol.ppm
H2O <2.0 vol.ppm
钢瓶,充填量
Cylinder/Content
钢瓶阀门
Valve
47ℓ: ~32kg(14.7MPa) JIS.W22-14R/L/
DISS716 *option
10ℓ: ~7.0kg(14.7MPa)
混合气体
Mixed G
基础气体
Balance Gas
成分气体
Content Gas
充塡圧力
Pressure
钢瓶
Cylinder
钢瓶阀门
Valve
气体名称
Gas Name
濃度
Concentration
CF4 O2 1~50% Max.14.7MPa 47/10/3.4 JIS.W22-14L
物性数据
特殊高压气体
分子量 Molecular Weight 88.01
联合国编号 UN Code 1982
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 无臭 Odorless
比 重 Specific Gravity 3.06(0℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -128.0℃
气体密度 Density (Vapor) 3.929kg/㎥(0℃, 0.1MPa)
液体密度 Density(Liquid) 1.33kg/ℓ(-80℃)