大陽日酸

Electronics Gas
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SDS2 PH3Phosphine

产品规格
Specifications
Purity >99.999 vol.%
Impurity    
N2 <2.0 vol.ppm
O2 <1 vol.ppm
CO <0.1 vol.ppm
CO2 <0.1 vol.ppm
CH4 <0.5 vol.ppm
H2O <2.0 vol.ppm
钢瓶・ *供给量
Cylinder / Capacity
钢瓶阀门
Valve
3X(6.6ℓ): 520g(650Torr±50Torr at.21℃) 1/2" VCR
4X(2.25ℓ): 170g(650Torr±50Torr at.21℃)
7X(0.44ℓ): 30g(650Torr±50Torr at.21℃)

※供给量是指从650到20Torr使用时的保证量。

吸附脱附特性吸附脱附特性