大陽日酸

Electronics Gas
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SDS2 SiF4Silicon Tetrafluoride

产品规格
Specifications
Purity >99.99 vol.%
Impurity    
N2 <80 vol.ppm
O2 <20 vol.ppm
钢瓶・ *供给量
Cylinder / Capacity
钢瓶阀门
Valve
4X(2.25ℓ): 230g(650Torr±50Torr at.21℃) 1/4" VCR
7X(0.44ℓ): 42g(650Torr±50Torr at.21℃)

※供给量是指从650到20Torr使用时的保证量。