大陽日酸

Electronics Gas
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SDS2 GeF4Germanium tetrafluoride

产品规格
Specifications
Purity >99.9 vol.%
Impurity    
N2 <25 vol.ppm
O2 <25 vol.ppm
Ar <25 vol.ppm
CO2 <25 vol.ppm
SO2 <25 vol.ppm
HF <25 vol.ppm
钢瓶・ *供给量
Cylinder / Capacity
钢瓶阀门
Valve
4X(2.25ℓ): 620g(650Torr±50Torr at.21℃) 1/4" VCR
7X(0.44ℓ): 120g(650Torr±50Torr at.21℃)

※供给量是指从650到20Torr使用时的保证量。
提供把72Ge浓缩到50%以上的浓缩SDS2 72GeF4。
≪浓缩 SDS2 72GeF4的特色≫
特色1 减低As (质量74.9) 的Cross contamination
特色2 改善 sauce life和throughput