大陽日酸

Electronics Gas
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AsH3混合Arsine Mixtures

产品规格
Specifications
  原料AsH3
Law AsH3
Purity >99.999 vol.%
Impurity    
N2 <2.0 vol.ppm
O2 <1 vol.ppm
CO <0.1 vol.ppm
CO2 <0.5 vol.ppm
CH4 <0.5 vol.ppm
H2O <2.0 vol.ppm
混合气体
Mixed Gas
基础气体
Balance Gas
制造浓度
Concentration
充塡圧力
Pressure
钢瓶
Cylinder
钢瓶阀门
Valve
N2,Ar,He,H2 15ppm~30% 15ppm~5%
6~10%
11~20%
21~30%
14.7MPa
7.4MPa
3.9MPa
2.4MPa
3.4ℓ/1ℓ JIS.W22-14L
0.35ℓ G1/4 19.0R

※1r以下是指4.9MPa以下

物性数据
特殊高压气体
分子量 Molecular Weight 77.95
联合国编号 UN Code 2188
容许浓度 Permissible Concentration TLV-TWA 0.005ppm, 0.016mg/㎥
外 观 Description 无色气体 Colorless Gas
臭 气 Odor 大蒜臭味 Garlic Like Odor
比 重 Specific Gravity 2.69(20℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -62.5℃
气体密度 Density (Vapor) 3.484kg/㎥(0℃, 0.1MPa)
液体密度 Density (Liquid) 1.604kg/ℓ(-64.3℃)
燃烧范围 Sphere of Explosion 0.8~98%