SiF4Silicon Tetrafluoride
| 产品规格 Specifications |
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| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜4.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜3.0 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.1 | vol.ppm |
| SO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm |
| 钢瓶,充填量 Cylinder/Content |
钢瓶阀门 Valve |
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| 47ℓ： | ～10kg | JIS.W22-14L |
| 10ℓ： | ～5kg | |
| 3.4ℓ： | ～1kg | |
| 1ℓ： | ～300g | |
| 0.35ℓ： | ～100g | G1/4 19.OR |
| 高压气体 | |
| 分子量 Molecular Weight | 104.08 |
| 联合国编号 UN Code | 1859 |
| 容许浓度 Permissible Concentration | TLV未设定（参考：TLV-TWA 2.5mg（F）/㎥） |
| 外 观 Description | 无色气体 Colorless Gas |
| 臭 气 Odor | 令人窒息的刺激性臭味 Suffocating Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 3.63（20℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -65℃ |
| 气体密度 Density (Vapor) | 4.370kg/㎥（20℃, 0.1MPa） |
| 液体密度 Density (Liquid) | 1.590kg/ℓ（-80℃） |
