SiH4Silane
| 产品规格 Specifications |
||
| Purity | ＞99.9995 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜1 | vol.ppm |
| O2+Ar | ＜1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.1 | vol.ppm |
| T-CL | ＜0.5 | vol.ppm |
| H2O | ＜0.5 | vol.ppm |
| 钢瓶,充填量 Cylinder/Content |
钢瓶阀门 Valve |
|
| 47ℓ 10kg： | 7.1MPa（20℃） 8.13MPa（30℃） 8.62MPa（35℃） |
JIS.W22-14L/ DISS632 *option |
| 10ℓ： | ～1000g （5.0MPa） | |
| 混合气体 Mixed Gas |
基础气体 Balance Gas |
制造浓度 Concentration |
充塡圧力 Pressure |
钢瓶 Cylinder |
钢瓶阀门 Valve |
|
| N2,Ar,He,H2 | 10ppm～50％ | 10ppm～10％ 11～20％ 21～50％ |
14.7MPa 11.8MPa 4.9MPa |
47ℓ/10ℓ | JIS.W22-14L/ DISS632 ※option |
|
| 特殊高压气体 | |
| 分子量 Molecular Weight | 32.12 |
| 联合国编号 UN Code | 2203 |
| 容许浓度 Permissible Concentration | TLV-TWA 5ppm 6.6mg/㎥ |
| 外 观 Description | 无色气体 Colorless Gas |
| 臭 气 Odor | 臭味微弱，高浓度下具有恶臭 Repulsive Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 1.114 (20℃,0.1MPa) |
| 沸 点 Boiling Point | -111.5℃ |
| 气体密度 Density (Vapor) | 1.342Kg/㎥ (20℃,0.1MPa) |
| 液体密度 Density (Liquid) | 0.68kg/ℓ (-185℃) |
| 燃烧范围 Sphere of Explosion | 1.35～98％ |
| 致突变性 Mutagenicity | 阳性 Positive |
