SDS AsH3 Arsine
| Specifications | ||
| Purity | ＞99.9995 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜2.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.5 | vol.ppm |
| H2O | ＜2.0 | vol.ppm |
| Cylinder・ *Supply volume Cylinder / Capacity |
Valve for Specialty Gas Valve |
||
| SDS2 | 3X（6.6ℓ）： | 1,677g（650Torr±50Torr at21℃） | 1/2" VCR |
| 4X（2.25ℓ）： | 559g（650Torr±50Torr at21℃） | ||
| 7X（0.44ℓ）： | 112g（650Torr±50Torr at21℃） | ||
| SDS3 | 3X（7.5ℓ）： | 2,505g（650Torr±50Torr at21℃） | |
| 4X（2.5ℓ）： | 835g（650Torr±50Torr at21℃） | ||
※The definition of supply volume shall be a guaranteed value at using rate from 650 to 5Torr.
