BF3 Boron Trifluoride
| Specifications | ||||
| Grade A | Grade B | |||
| Purity | ＞99.99 | vol.％ | ＞99.8 | vol.％ |
| Impurity | ||||
| Air | ＜10 | vol.ppm | ＜1500 | vol.ppm |
| CO2 | ＜20 | vol.ppm | vol.ppm | |
| SO2 | ＜30 | vol.ppm | ＜20 | vol.ppm |
| SO4 | ＜10 | vol.ppm | ＜10 | vol.ppm |
| SiF4 | ＜30 | vol.ppm | ＜100 | vol.ppm |
| Cylinder・Contents Cylinder/Content |
Valve for Specialty Gas Valve |
|
| 3.4ℓ： | 1000g | JIS.W22-14R/L |
| 1ℓ： | 200g | |
| 0.35ℓ： | 100g | G1/4 19.OR |
| High Pressure Gas | |
| Molecular Weight | 67.82 |
| UN Code | 1008 |
| Permissible Concentration | TLV-TWA0.1ppm |
| Description | Colorless Gas |
| Odor | Strong pungent odor |
| Specific Gravity | 2.38（20℃, 0.1MPa） |
| Boiling Point | -100.3℃ |
| Density（Vapor） | 2.32（21℃, 0.1013MPa） |
| Density（Liquid） | 1.571kg/ℓ（bp） |
