SiF4 Silicon Tetrafluoride
| Specifications | ||
| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜4.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜0.5 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜3.0 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.1 | vol.ppm |
| SO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm |
| Cylinder・Contents Cylinder/Content |
Valve for Specialty Gas Valve |
|
| 47ℓ： | ～10kg | JIS.W22-14L |
| 10ℓ： | ～5kg | |
| 3.4ℓ： | ～1kg | |
| 1ℓ： | ～300g | |
| 0.35ℓ： | ～100g | G1/4 19.OR |
※Maximum pressure for below 1L-sized cylinder: 4.9MPa
| High Pressure Gas | |
| Molecular Weight | 104.08 |
| UN Code | 1859 |
| Permissible Concentration | TLV value unsettled（Reference: TLV-TWA 2.5mg（F）/㎥） |
| Description | Colorless Gas |
| Odor | Suffocating Odor |
| Specific Gravity | 3.63（20℃, 0.1MPa） |
| Boiling Point | -65℃ |
| Density(Vapor) | 4.370kg/㎥（20℃, 0.1MPa） |
| Density(Liquid) | 1.590kg/ℓ（-80℃） |
