大陽日酸

Electronics Gas
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AsH3 アルシン Arsine

製品規格
Specifications
  ULアルシン
UL-AsH3
SSアルシン
SS-AsH3
S(スーパー)
AsH3
S(エス)
AsH3
Purity >99.9999 vol.% >99.9999 vol.% >99.9998 vol.% >99.9998 vol.%
Impurity                
N2 <0.5 vol.ppm <0.5 vol.ppm <1.00 ppm <1.00 ppm
O2 <0.1 vol.ppm <0.1 vol.ppm <0.10 ppm <0.10 ppm
CO <0.02 vol.ppm <0.1 vol.ppm <0.10 ppm <0.10 ppm
CO2 <0.02 vol.ppm <0.1 vol.ppm <0.10 ppm <0.10 ppm
CH4 <0.05 vol.ppm   - <0.10 ppm   -
H2O <0.05 vol.ppm <0.1 vol.ppm <0.10 ppm <0.10 ppm
SiH4 <0.01 vol.ppm <0.0005 vol.ppm <0.05 ppm <20 ppb
GeH4 <0.0015 vol.ppm <0.0015 vol.ppm <0.05 ppm <20 ppb
H2S <0.1 vol.ppm <0.01 vol.ppm <0.10 ppm <50 ppb
H.C.   - <0.1 vol.ppm   - <0.1 ppm
その他の製品規格
Specifications
Purity >99.999 vol.% >99.9998 vol.%
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
48ℓ: ~19kg (2.0MPa) JIS.W22-14L
9.4ℓ: ~3kg (1.5MPa)
物性データ
特殊高圧ガス
分子量 Molecular Weight 77.95
国連番号 UN Code 2188
許容濃度 Permissible Concentration TLV-TWA 0.005ppm, 0.016mg/㎥
外 観 Description 無色の気体 Colorless Gas
臭 気 Odor ニンニク臭 Garlic Like Odor
比 重 Specific Gravity 2.69(20℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -62.5℃
ガス密度 Density(Vapor) 3.484kg/㎥ (0℃, 0.1MPa)
液密度 Density(Liquid) 1.604kg/ℓ(-64.3℃)
燃焼範囲 Sphere of Explosion 0.8~98%