大陽日酸

Electronics Gas
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PH3 ホスフィン Phosphine

製品規格
Specifications
  ULホスフィン
UL-PH3
S(スーパー)ホスフィン
S-PH3
Purity >99.9999 vol.% >99.9998 vol.%
Impurity        
N2 <0.5 vol.ppm <1 vol.ppm
O2 <0.1 vol.ppm <0.1 vol.ppm
CO <0.05 vol.ppm <0.1 vol.ppm
CO2 <0.05 vol.ppm <0.1 vol.ppm
CH4 <0.05 vol.ppm <0.1 vol.ppm
H2O <0.05 vol.ppm <0.1 vol.ppm
SiH4 <0.05 vol.ppm <0.05 vol.ppm
H2S <0.1 vol.ppm <0.1 vol.ppm
※AsH3 <0.5 vol.ppm   -
※X <0.001 vol.ppm   -
H.C.   -   -
GeH4   -   -

※は純度の定義より除外

その他の製品規格
Specifications
Purity >99.9995 vol.% >99.999 vol.%
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
48L、47L: ~1.5kg JIS.W22-14L
10L、9.4L: ~300g
3.4L、1L、0.35L: ~2.9MPa
混合ガス
Mixed Gas
ベースガス
Balance Gas
製造濃度
Concentration
充塡圧力
Pressure
容器弁
Valve
N2、Ar、He、H2 2ppm~50% 2ppm14%
14%超15%
15%超20%
20%超30%
30%超50%
14.7MPa
11.8MPa
9.81MPa
6.9MPa
3.9MPa
JIS.W22-14L
SiH4 1,000ppm~50% ~5.9MPa
物性データ
特殊高圧ガス
分子量 Molecular Weight 34.00
国連番号 UN Code 2199
許容濃度 Permissible Concentration TLV-TWA 0.05 ppm
外 観 Description 無色の気体 Colorless Gas
臭 気 Odor 腐魚臭 Odor of Decaying Fish
比 重 Specific Gravity 1.184(25℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -87.7℃
ガス密度 Density(Vapor) 1.53kg/㎥(0℃、1atm)
液密度 Density(Liquid) 0.744kg/ℓ(-87.7℃)
燃焼範囲 Sphere of Explosion 1.32~98%