大陽日酸

Electronics Gas
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容器弁

特殊ガス容器弁

当社は、特殊ガスの性質(腐食性等)や安全性を考慮して、高圧ガス保安法の適用を受けたJIS−B8246規格の各種高圧ガス容器弁を採用しております。

● 容器弁の仕様・荷姿[ステンレス製ダイヤフラムバルブ]
容器弁の仕様・荷姿[ステンレス製ダイヤフラムバルブ]

当社は、特殊ガスの性質(腐食性等)を考慮し、特殊ガスを高品質で安全に供給する容器弁として、ステンレス製ダイヤフラム式容器弁、真鍮製キープレート式容器弁等を使用しております。これらの容器弁は高圧ガス保安法およびJIS−B8246規格の適用を受けております。

■ ニューマチック容器弁
容器弁の仕様・荷姿[ステンレス製ダイヤフラムバルブ]

仕様

  1. ガス圧による単動型タンデムデュアルピストン方式
    (ノーマルクローズ)採用により小型化を実現。
  2. 他の制御機器との組み合わせにより、容器弁の緊急遮断、遠隔操作、自動開閉が可能。
  3. 容器弁の開閉操作が圧縮空気または窒素を使用するため、防爆上安全。
  4. 誤操作防止のためのアクチュエーターロック機構を装備。
  5. 操作圧力の配管はワンタッチチューブにより脱着が容易。
  6. ノーマルクローズタイプであり、操作圧力が供給されない場合、容器弁は常に均一かつ確実に閉状態を維持。
  7. 操作圧力:0.6± /MPa
    操作圧力供給口:外径4mmカプラー式コネクター
    適用チューブ材質:ポリウレタン、ナイロン
    アクチュエーター耐圧:1.5MPa
容器一覧表
● オプション

容器弁開閉状態が判別できます。

容器一覧表
■ ニューマチックバルブ (イオンインプラ用)

仕様

  1. 作動方式:単動型シングルピストン方式
  2. アクチュエーター耐圧:1.5MPa
  3. 操作圧力:0.5± /MPa
  4. 操作圧力供給口:外径4mmワンタッチチューブコネクター
  5. 適用チューブ材質:ポリウレタン、ナイロン
容器一覧表
■ マニュアル容器弁
● ダイヤフラム式
左ねじ
右ねじ
● キープレート式
左ねじ
右ねじ
● ダイレクトダイヤフラムシール容器弁

特長

  1. 水分除去特性:
    デッドスペースフリーにより水分除去が向上
  2. パーティクル特性:
    スプリングレス構造によりパーティクルフリーの実現
容器一覧表
■ 容器弁記号

例 JIS. W22. 14. R/L

口金ネジ外径
Connection O.D.
口金ネジ山数
Number of thread
口金ネジ方向
Direction of screw
22:φ22mmウィットネジ
14:14山
14:14
L:左ネジ
209:φ20.9mmウィットネジ
  R:右ネジ
225:φ22.5mmウィットネジ

   
26:φ26mmウィットネジ
   
■ オプション

海外向けへの需要が高まる中、当社では、口金がCGA規格(DISS)の容器弁にも対応致しております。

仕様

●オプション
 内容積10L以上の容器

●対応ガス(例)

口金番号
Connection
対象ガス名
Gas
CGA632 アルシン、ジボラン、ホスフィン、モノシラン
AsH3, B2H6, PH3, SiH4
CGA640 三フッ化窒素
NF3
CGA716 フロン14、フロン23、フロン116
CF4, CHF3, C2F6
CGA720 アンモニア
NH3
■ 過流量防止オリフィス容器弁
各種ガスの圧力~流量特性図 オリフィス内蔵弁付容器0.2mm
オリフィス内蔵弁付容器0.3mm

オリフィス容器弁付容器

仕様

●口径0.2mmまたは0.3mmのいずれかのオリフィスを容器弁出口部に装着します。
●47L×14.7MPaのN2ガスを減圧せずに放出すると、約3,500L/minの放出量のところ、容器出口部に0.3mmのオリフィスを装着すると、50~60L/min抑えることができます。
●SiH4など大流量で流れると自然発火せず空気中で爆発混合気体を形成するガスには、大事故につながる危険性を未然に防ぐことができます。
●各種ガス・混合濃度等により、確保できる流量は変わりますので、事前に御相談ください。
●オリフィス容器弁には、上記の口径を表すラベルと「オリフィス内蔵弁付容器」というラベルを容器に貼付致します。