アルゴン＋メタン混合ガス｜その他・不活性ガス｜半導体・特殊材料ガス　大陽日酸株式会社

製品仕様 Specifications	製造濃度 Concentration	充塡圧力 Pressure	容器 Cylinder	容器弁 Valve
アルゴン＋メタン混合ガス（Ar＋CH4）	1～5％（CH4） 6％～50％（CH4）	14.7MPa	47ℓ、10ℓ	JIS.W22-14R／ JIS.W22-14L

メタン