大陽日酸

Electronics Gas
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SiH2Cl2 ジクロロシラン Dichlorosilane

製品規格
Specifications
Purity >99.5 vol.%

●仕様については営業までお問合せください。

容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
40ℓ: ~37kg(0.15MPa) JIS.W22-14L/
DISS636 *option
10ℓ: ~9kg (0.15MPa)
物性データ
特殊高圧ガス 
分子量 Molecular Weight 101
国連番号 UN Code 2189
許容濃度 Permissible Concentration TLV未設定
(参考:TLV-C 2ppm 3.0mg/㎥ as HCL)
外 観 Description 無色の気体 Colorless Gas
臭 気 Odor 刺激臭 Pungent Odor
比 重 Specific Gravity 3.52
沸 点 Boiling Point 8.2℃
ガス密度 Density(Vapor) 4.168kg/㎥ (25℃, 0.1MPa)
液密度 Density(Liquid) 1.261kg/ℓ(8.2℃)
燃焼範囲 Sphere of Explosion 4.1~98.8%