大陽日酸

Electronics Gas
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CF4 フロン-14 Tetrafluoromethane

製品規格
Specifications
Purity >99.999 vol.%
Impurity    
N2 <5 vol.ppm
O2 <1 vol.ppm
フロン-13 <1 vol.ppm
フロン-23 <1 vol.ppm
フロン-116 <1 vol.ppm
H2O <2.0 vol.ppm
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
47ℓ: ~32kg(14.7MPa) JIS.W22-14R/L/
DISS716 *option
10ℓ: ~7.0kg(14.7MPa)
混合ガス
Mixed G
ベースガス
Balance Gas
成分ガス
Content Gas
充塡圧力
Pressure
容器
Cylinder
容器弁
Valve
ガス名
Gas Name
濃度
Concentration
CF4 O2 1~50% Max.14.7MPa 47/10/3.4 JIS.W22-14L
物性データ
特殊高圧ガス
分子量 Molecular Weight 88.01
国連番号 UN Code 1982
外 観 Description 無色の気体 Colorless Gas
臭 気 Odor 無臭 Odorless
比 重 Specific Gravity 3.04(21℃)
沸 点 Boiling Point -127.9℃
ガス密度 Density(Vapor) 3.65g/ℓ(21℃, 0.1013MPa)
液密度 Density(Liquid) 1.317g/㎥(-80℃)