大陽日酸

Electronics Gas
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ClF3 三フッ化塩素 Chlorine Trifluoride

製品規格(参考例)
Specifications
Purity >99.9 wt.%
Impurity    
N2+O2 <70 wt.ppm
HF <700 wt.ppm
Fe <1 wt.ppm
Ni <1 wt.ppm
Cr <1 wt.ppm
Na <1 wt.ppm
K <1 wt.ppm
Ca <1 wt.ppm
Cu <1 wt.ppm
Co <1 wt.ppm
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
40ℓ: ~50kg JIS.W22-14R
10ℓ: ~10kg
物性データ
 
分子量 Molecular Weight 92.45
国連番号 UN Code 1749
許容濃度 Permissible Concentration TLV-C 0.1ppm
外 観 Description 常温で僅かに黄色を帯びた液体であるがガスは無色 Colorless Gas
臭 気 Odor 刺激臭(甘い香気) Repulsive Odor
比 重 Specific Gravity 1.82(20℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point 11.75℃