大陽日酸

Electronics Gas
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BCl3 三塩化ホウ素 Boron Trichloride

製品規格(参考例)
Specifications
Purity ≧99.9999 wt.%
Impurity    
N2+O2 ≦5 vol.ppm
CO2 ≦5 vol.ppm
COCl2 ≦30 vol.ppm
Na ≦10 wt.ppb
K ≦10 wt.ppb
Fe ≦20 wt.ppb
Cu ≦10 wt.ppb
Cr ≦2 wt.ppb
Pb ≦2 wt.ppb
Cd ≦2 wt.ppb
Al ≦1 wt.ppb
Ni ≦5 wt.ppb
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
47ℓ: ~50kg JIS.W22-14L
10ℓ: ~10kg
物性データ
 
分子量 Molecular Weight 117.2
国連番号 UN Code 1741
外 観 Description 常温で無色透明の気体
臭 気 Odor 干し草のような臭い Choking Odor
比 重 Specific Gravity 4.1
沸 点 Boiling Point 12.5℃
ガス密度 Density(Vapor) 5.326kg/㎥(0℃, 0.1MPa)
液密度 Density(Liquid) 1.434kg/ℓ(0℃)