大陽日酸

Electronics Gas
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SDS2 GeF4 四フッ化ゲルマニウムGermanium tetrafluoride

製品規格
Specifications
Purity >99.9 vol.%
Impurity    
N2 <25 vol.ppm
O2 <25 vol.ppm
Ar <25 vol.ppm
CO2 <25 vol.ppm
SO2 <25 vol.ppm
HF <25 vol.ppm
容器・ *供給量
Cylinder / Capacity
容器弁
Valve
4X(2.25ℓ): 802g(650Torr±50Torr at.21℃) 1/4" VCR
7X(0.44ℓ): 160g(650Torr±50Torr at.21℃)

※供給量とは、650Torr~5Torr迄使用時の保証量。
72Geを50%以上に濃縮したエンリッチSDS2 72GeF4もございます。
≪エンリッチ SDS2 72GeF4の特徴≫
特徴1. As(質量74.9)のクロスコンタミネーションの低減
特徴2. ソースライフ、スループットの向上