大陽日酸

Electronics Gas
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PF3 三フッ化リンPhosphorus Trifluoride

製品規格
Specifications
Purity >99 vol.%
Impurity    
N2 <3000 vol.ppm
O2 <200 vol.ppm
HCl <500 vol.ppm
容器・充填量
Cylinder/Content
容器弁
Valve
3.4ℓ: ~1kg JIS.W22-14L
1ℓ: ~300g
0.35ℓ: ~100g G1/4 19.OR
物性データ
高圧ガス
分子量 Molecular Weight 87.97
国連番号 UN Code 1955
外 観 Description 無色の気体 Colorless Gas
臭 気 Odor 無臭 Odorless
比 重 Specific Gravity 3.03(25℃, 0.1MPa)
沸 点 Boiling Point -101.2℃
ガス密度 Density(Vapor) 3.59kg/㎥(25℃, 0.1MPa)
液密度 Density(Liquid) 1.574kg/ℓ(-101.2℃)