大陽日酸

Electronics Gas
日本語English
HOME >サイトマップ

サイトマップ

HOME

 

シリコン半導体・液晶

   

シリコン半導体・液晶

 CVD

SiH4 モノシラン / PH3 ホスフィン / B2H6 ジボラン / SiH2Cl2 ジクロロシラン
GeH4 ゲルマン / Si2H6 ジシラン / SiF4 四フッ化ケイ素
WF6 六フッ化タングステン / NH3 アンモニア / C3H6 プロピレン

 クリーニング・エッチング

NF3 三フッ化窒素 / CO 一酸化炭素 / C2F6 フロン-116
C3F8 フロン-218 / C4F6 ヘキサフルオロ1,3ブタジエン
C5F8 オクタフルオロシクロペンテンZFL-58 / CF4 フロン-14 / CHF3 フロン-23
COS 硫化カルボニル / C2HF5 ペンタフルオロエタン / CH2F2 フロン-32
CH3F フロン-41 / SF6 六フッ化硫黄 / Cl2 塩素
BCl3 三塩化ホウ素 / HBr 臭化水素 / 

 イオン注入

SDS Safe Delivery Source / SDS AsH3 / SDS PH3 / SDS 11BF3
SDS PH3 / SDS SiF4 / SDS GeF4 / SDS 72GeF4 / SDS H2Se
AsH3混合 アルシン混合ガス / PH3混合 ホスフィン混合ガス / BF3 三フッ化ホウ素
SiF4 四フッ化ケイ素 / GeF4 四フッ化ゲルマニウム

化合物半導体

AsH3 アルシン / PH3 ホスフィン / NH3 アンモニア


太陽電池

SiH4 モノシラン / PH3 ホスフィン / B2H6 ジボラン
GeH4 ゲルマン / NH3 アンモニア / H2Se セレン化水素 / NF3 三フッ化窒素
SF6 六フッ化硫黄


その他・不活性ガス

NO 一酸化窒素 / D2 重水素
アルゴン+酸素混合ガス / ヘリウム+酸素混合ガス / アルゴン+メタン混合ガス
窒素+水素混合ガス / N2 高純度窒素 / O2高純度酸素 / Ar アルゴン
He ヘリウム / CO2 二酸化炭素

 

高純度ガス・標準ガス

 

容器・容器弁

   

容器
容器弁

 

お問い合わせ

 

サイトマップ

 

サイトご利用条件