SF6 六フッ化硫黄 Sulfur Hexafluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| Air | ＜10 | vol.ppm |
| CF4 | ＜5 | vol.ppm |
| 酸分（HF） | ＜0.7 | vol.ppm |
| H2O | ＜5 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 47ℓ： | ～50kg | JIS.W22-14R |
| 10ℓ： | ～10kg | |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 146.1 |
| 国連番号 UN Code | 1080 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 1000ppm |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 無臭 Odorless |
| 比 重 Specific Gravity | 5.04（21℃, 0.1013MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -63.9℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 6.05kg/㎥（21℃, 0.1013MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.32kg/㎥（25℃） |
