AsH3 アルシン Arsine
| 製品規格 Specifications |
||||||||
| ULアルシン UL-AsH3 |
SSアルシン SS-AsH3 |
S(ｽｰﾊﾟｰ） AsH3 |
S(ｴｽ） AsH3 |
|||||
| Purity | ＞99.9999 | vol.％ | ＞99.9999 | vol.％ | ＞99.9998 | vol.％ | ＞99.9998 | vol.％ |
| Impurity | ||||||||
| N2 | ＜0.5 | vol.ppm | ＜0.5 | vol.ppm | ＜1.00 | ppm | ＜1.00 | ppm |
| O2 | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.10 | ppm | ＜0.10 | ppm |
| CO | ＜0.02 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.10 | ppm | ＜0.10 | ppm |
| CO2 | ＜0.02 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.10 | ppm | ＜0.10 | ppm |
| CH4 | ＜0.05 | vol.ppm | - | ＜0.10 | ppm | - | ||
| H2O | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.10 | ppm | ＜0.10 | ppm |
| SiH4 | ＜0.01 | vol.ppm | ＜0.0005 | vol.ppm | ＜0.05 | ppm | ＜20 | ppb |
| GeH4 | ＜0.0015 | vol.ppm | ＜0.0015 | vol.ppm | ＜0.05 | ppm | ＜20 | ppb |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.01 | vol.ppm | ＜0.10 | ppm | ＜50 | ppb |
| H.C. | - | ＜0.1 | vol.ppm | - | ＜0.1 | ppm | ||
| その他の製品規格 Specifications |
||||
| Purity | >99.999 | vol.％ | >99.9998 | vol.％ |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
|
| 48ℓ： | ～19kg （2.0MPa） | JIS.W22-14L |
| 9.4ℓ： | ～3kg （1.5MPa） | |
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 77.95 |
| 国連番号 UN Code | 2188 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 0.005ppm, 0.016mg/㎥ |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | ニンニク臭 Garlic Like Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 2.69（20℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -62.5℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 3.484kg/㎥ （0℃, 0.1MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.604kg/ℓ（-64.3℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 0.8～98％ |
