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シリコン半導体・液晶
| ガス名 | |||
| SiH4 モノシラン | Silane | PH3 ホスフィン | Phosphine |
| B2H6 ジボラン | Diborane | SiH2Cl2 ジクロロシラン | Dichlorosilane |
| GeH4 ゲルマン | Germane | Si2H6 ジシラン | Disilane |
| SiF4 四フッ化ケイ素 | Silicon Tetrafluoride | WF6 六フッ化タングステン | Tungsten Hexafluoride |
| NH3 アンモニア | Ammonia | C3H6 プロピレン | Propylene |
| ガス名 | |||
| NF3 三フッ化窒素 | Nitrogen Trifluoride | CO 一酸化炭素 | Carbon monoxide |
| C2F6 フロン-116 | Hexafluoro Ethane | C3F8 フロン-218 | Octafluoro Propane |
| C4F6 ヘキサフルオロ1,3ブタジエン | Hexafluoro-1,3-butadiene | C5F8 オクタフルオロシクロペンテン ZFL-58 |
Octafluorocyclopentene |
| CF4 フロン-14 | Tetrafluoromethane | CHF3 フロン-23 | Trifluoromethane |
| COS 硫化カルボニル | Carbonyl Sulfide | C2HF5 ペンタフルオロエタン | Pentafluoroethane |
| CH2F2 フロン-32 | Difluoromethane | CH3F フロン-41 | Methyl Fluoride |
| SF6 六フッ化硫黄 | Sulfur Hexafluoride | Cl2 塩素 | Chlorine |
| BCl3 三塩化ホウ素 | Boron Trichloride | HBr 臭化水素 | Hydrogen Bromide |
| ガス名 | |||
| SDS AsH3 アルシン | Arsine | SDS PH3 ホスフィン | Phosphine |
| SDS 11BF3 三フッ化ホウ素 | Boron Trifluoride | SDS SiF4 四フッ化ケイ素 | Silicon Tetrafluoride |
| SDS GeF4 四フッ化ゲルマニウム | Germanium tetrafluoride | SDS H2Se セレン化水素 | Hydrogen Selenide |
| AsH3混合 アルシン混合ガス | Arsine Mixtures | PH3混合 ホスフィン混合ガス | Phosphine Mixtures |
| BF3 三フッ化ホウ素 | Boron Trifluoride | SiF4 四フッ化ケイ素 | Silicon Tetrafluoride |
| GeF4 四フッ化ゲルマニウム | Germanium Tetrafluoride | ||