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SiH4 モノシラン Silane
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.9995 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜1 | vol.ppm |
| O2+Ar | ＜1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.1 | vol.ppm |
| T-CL | ＜0.5 | vol.ppm |
| H2O | ＜0.5 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 47L： | ～11.75kg | JIS.W22-14L／ DISS632 *option |
| 10L： | ～1kg | |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
製造濃度 Concentration |
充塡圧力 Pressure |
容器 Cylinder |
容器弁 Valve |
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| N2、Ar、He、H2 | 1ppm～50％ | 10ppm～10％ 11～20％ 21～50％ |
14.7MPa 11.8MPa 4.9MPa |
47ℓ/10ℓ | JIS.W22-14L／ DISS632 *option |
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| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 32.12 |
| 国連番号 UN Code | 2203 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 5ppm 6.6mg/㎥ |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 臭いは弱く、高濃度で不快臭 Repulsive Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 1.114 (20℃,0.1MPa) |
| 沸 点 Boiling Point | -111.5℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 1.342Kg/㎥ (20℃,0.1MPa) |
| 液密度 Density(Liquid) | 0.68kg/ℓ (-185℃) |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 1.35～98％ |
| 変異原性 Mutagenicity | 陽性 Positive |
