SDS2 GeF4 四フッ化ゲルマニウムGermanium tetrafluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.9 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜25 | vol.ppm |
| O2 | ＜25 | vol.ppm |
| Ar | ＜25 | vol.ppm |
| CO2 | ＜25 | vol.ppm |
| SO2 | ＜25 | vol.ppm |
| HF | ＜25 | vol.ppm |
| 容器・ *供給量 Cylinder / Capacity |
容器弁 Valve |
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| 4X（2.25ℓ）： | 802g（650Torr±50Torr at.21℃） | 1/4" VCR |
| 7X（0.44ℓ）： | 160g（650Torr±50Torr at.21℃） | |
※供給量とは、650Torr～5Torr迄使用時の保証量。
72Geを50%以上に濃縮したエンリッチSDS2 72GeF4もございます。
≪エンリッチ SDS2 72GeF4の特徴≫
特徴1. As（質量74.9）のクロスコンタミネーションの低減
特徴2. ソースライフ、スループットの向上
