Si2H6 ジシラン Disilane
| 製品規格 Specifications |
||
| Purity | ＞99.99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜1 | vol.ppm |
| O2 | ＜1 | vol.ppm |
| H2 | ＜100 | vol.ppm |
| THC | ＜5 | vol.ppm |
| TーCL | ＜0.2 | vol.ppm |
| H2O | ＜5 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
|
| 48L、47L： | ～10kg | JIS.W22-14L／ DISS632 *option |
| 10L、9.4L： | ～3kg | |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
製造濃度 Concentration |
容器 Cylinder |
充塡圧力 Pressure |
|
| N2、Ar、He、H2 | 10ppm～30％ | 48L | 10ppm～1％ 10%超～30％ |
9.81MPa 0.5MPa |
|
| 47L、10L、9.4L | 10ppm～1.2％ 1.2%超～2％ 2%超～3％ 3%超～5％ 5%超～10％ |
14.7MPa 8.8MPa 5.9MPa 3.4MPa 1.5MPa |
|||
| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 62.22 |
| 国連番号 UN Code | 3161 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 5ppm（参考：TLV-TWA 5ppm as SiH4） |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 不快臭 Pungent Odor |
| 比 重 Specific Gravity | 2.297 |
| 沸 点 Boiling Point | -14.5℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 2.78kg/㎥（0℃） |
| 液密度 Density(Liquid) | 686g/ℓ（-25℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 0.5～100％（未満） |
