GeH4 ゲルマン Germane
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ≧ 99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| Ar+O2 | ≦1 | vol.ppm |
| N2 | ≦2 | vol.ppm |
| H2 | ≦90 | vol.ppm |
| CO | ≦1 | vol.ppm |
| CO2 | ≦1 | vol.ppm |
| CH4 | ≦1 | vol.ppm |
| H2O | ≦0.5 | vol.ppm |
| T-Cl | ≦0.2 | vol.ppm |
| THC | ≦1 | vol.ppm |
| He | ≦300 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 47L： | ～500g | JIS.W22-14L |
| 10L： | ～100g | |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
混合ガス濃度区分（MPa） | 充塡圧力 Pressure |
容器弁 Valve |
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| ＜1％ | ＜5％ | ≦10％ | |||||
| N2、Ar、He | ≦11.8 | ≦6.4 | ≦4.4 | 5%超～10% 2%超～5% 1%超～2% 1%以下 |
4.4 MPa 6.4 MPa 9.81 MPa 11.8 MPa |
JIS.W22-14L | |
| H2 | ≦11.8 | ≦7.8 | ≦5.4 | 5%超～10% 2%超～5% 1%超～2％ 1%以下 |
5.4 MPa 7.8 MPa 9.81 MPa 11.8 MPa |
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| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 76.64 |
| 国連番号 UN Code | 2192 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 0.2ppm |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 弱い刺激臭（ニンニク臭に近い） |
| 比 重 Specific Gravity | 2.645（0℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -88.4℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 3.420kg/㎥ （0℃, 0.1MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.523kg/ℓ（-142℃） |
