SiF4 四フッ化ケイ素 Silicon Tetrafluoride
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2+O2 | ＜4.0 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜3.0 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.1 | vol.ppm |
| SO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 47ℓ： | ～10kg | JIS.W22-14L／ DISS636 *option |
| 10ℓ： | ～5kg | |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 104.1 |
| 国連番号 UN Code | 1859 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV未設定 （参考：TLV-TWA 2.5mg（F）/㎥） |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 塩化水素に似た強い刺激臭 |
| 比 重 Specific Gravity | 3.59（21℃、0.1013 MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -94.8℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 4.31kg/㎥ （21℃, 0.1013MPa） |
| 液密度 Density(Liquid) | 1.52kg/ℓ（-70℃） |
