PH3 ホスフィン Phosphine
| 製品規格 Specifications |
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| ULホスフィン UL-PH3 |
S（スーパー）ホスフィン S-PH3 |
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| Purity | ＞99.9999 | vol.％ | ＞99.9998 | vol.％ |
| Impurity | ||||
| N2 | ＜0.5 | vol.ppm | ＜1 | vol.ppm |
| O2 | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| H2O | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| SiH4 | ＜0.05 | vol.ppm | ＜0.05 | vol.ppm |
| H2S | ＜0.1 | vol.ppm | ＜0.1 | vol.ppm |
| ※AsH3 | ＜0.5 | vol.ppm | - | |
| ※X | ＜0.001 | vol.ppm | - | |
| H.C. | - | - | ||
| GeH4 | - | - | ||
※は純度の定義より除外
| その他の製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.9995 | vol.％ | ＞99.999 | vol.％ |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 48L、47L： | ～1.5kg | JIS.W22-14L |
| 10L、9.4L： | ～300g | |
| 3.4L、1L、0.35L： | ～2.9MPa | |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
製造濃度 Concentration |
充塡圧力 Pressure |
容器弁 Valve |
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| N2、Ar、He、H2 | 2ppm～50％ | 2ppm～14％ 14%超～15％ 15%超～20％ 20%超～30％ 30%超～50％ |
14.7MPa 11.8MPa 9.81MPa 6.9MPa 3.9MPa |
JIS.W22-14L |
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| SiH4 | 1,000ppm～50％ | ～5.9MPa |
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| 特殊高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 34.00 |
| 国連番号 UN Code | 2199 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 0.05 ppm |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 腐魚臭 Odor of Decaying Fish |
| 比 重 Specific Gravity | 1.184（25℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -87.7℃ |
| ガス密度 Density(Vapor) | 1.53kg/㎥（0℃、1atm） |
| 液密度 Density(Liquid) | 0.744kg/ℓ（-87.7℃） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 1.32～98％ |
