SiH(CH3)3 トリメチルシラン Trimethyl Silane
| 製品規格 Specifications |
||
| Purity | ＞99.99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| H2 | ＜50 | vol.ppm |
| Ar+O2 | ＜2 | vol.ppm |
| N2 | ＜2 | vol.ppm |
| CO | ＜1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜5 | vol.ppm |
| CO2 | ＜1 | vol.ppm |
| THC | ＜5 | vol.ppm |
| T-Cl | ＜1 | vol.ppm |
| H2O | ＜1 | vol.ppm |
| 全炭化水素 | ＜5 | vol.ppm |
| 混合ガス Mixed Gas |
ベースガス Balance Gas |
製造濃度 Concentration |
充塡圧力 Pressure |
容器 Cylinder |
容器弁 Valve |
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| N2、Ar、He、H2 | 100ppm～10％ | 100～5400ppm 1％ 2％ 3～5％ 6～10％ |
14.7MPa 7.8MPa 3.9MPa 1.5MPa 0.7MPa |
47ℓ／10ℓ／3.4ℓ | JIS.W22-14L | |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 74.20 |
| 国連番号 UN Code | 3161 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | 未設定（参考値5ppm） |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 無臭 Odorless |
| 比 重 Specific Gravity | 0.63 |
| 触 点 Melting Point | -135.9℃ |
| 沸 点 Boiling Point | 6.7℃ |
| 蒸気圧 Vapor Pressure | 0.15MPa（20℃） |
