TMA トリメチルアルミニウム Trimethyl Aluminum
| 製品規格（参考例） Specifications |
||
| 金属不純物 Metal Impurities |
UL-TMG | |
| Purity | ≦99.999 | wt.％ |
| Impurity | ||
| Al | - | |
| Ca | ≦0.02 | wt.ppm |
| Cd | ≦0.03 | wtl.ppm |
| Cr | ≦0.08 | wtl.ppm |
| Cu | ≦0.04 | wtl.ppm |
| Fe | ≦0.02 | wtl.ppm |
| Mg | ≦0.02 | wtl.ppm |
| Mn | ≦0.02 | wtl.ppm |
| Si | ≦0.7 | wtl.ppm |
| Zn | ≦0.04 | wtl.ppm |
| 物性データ | |
| 分子量 Molecular Weight | 72.1 |
| 国連番号 UN Code | 3051 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 2mg(Al)/㎥ |
| 外 観 Description | 無色の液体 Colorless Liquid |
| 臭 気 Odor | - |
| 比 重 Specific Gravity | 0.752（20℃） |
| 沸 点 Boiling Point | 127.1℃ |
| 融 点 melting Point | 15.3℃ |
| 蒸気圧 Vapor Pressure | 9mmHg（20℃） |
