CO 一酸化炭素（半導体グレード） Carbon monoxide
| 製品規格 Specifications |
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| Purity | ＞99.995 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜10 | vol.ppm |
| O2 | ＜2.0 | vol.ppm |
| CO2 | ＜5 | vol.ppm |
| H2 | ＜5 | vol.ppm |
| H2O | ＜1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.5 | vol.ppm |
| Fe（CO）5 | ＜0.1 | vol.ppm |
| 容器・充填量 Cylinder/Content |
容器弁 Valve |
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| 48ℓ/9.4ℓ： | 9.81MPa | JIS.W22-14L |
| 高圧ガス | |
| 分子量 Molecular Weight | 28.01 |
| 国連番号 UN Code | 1016 |
| 許容濃度 Permissible Concentration | TLV-TWA 25ppm |
| 外 観 Description | 無色の気体 Colorless Gas |
| 臭 気 Odor | 無臭 Odorless |
| 比 重 Specific Gravity | 0.967（0℃, 0.1MPa） |
| 沸 点 Boiling Point | -191.5℃ |
| ガス密度 Density（Vapor） | 1.2504kg/㎥ （0℃, 0.1MPa） |
| 液密度 Density（Liquid） | 0.789kg/ℓ（bp） |
| 燃焼範囲 Sphere of Explosion | 12.5～74.2％ |
