SF6 Sulfur Hexafluoride
| Specifications | ||
| Purity | ＞99.999 | wt.％ |
| Impurity | ||
| Air | ＜10 | vol.ppm |
| CF4 | ＜5 | vol.ppm |
| Acidity（HF） | ＜0.7 | vol.ppm |
| H2O | ＜5 | vol.ppm |
| Cylinder・Contents Cylinder/Content |
Valve for Specialty Gas Valve |
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| 47ℓ： | ～50kg | JIS.W22-14R |
| 10ℓ： | ～10kg | |
| High Pressure Gas | |
| Molecular Weight | 146.1 |
| UN Code | 1080 |
| Permissible Concentration | TLV-TWA 1000ppm |
| Description | Colorless Gas |
| Odor | Odorless |
| Specific Gravity | 5.04（21℃, 0.1013MPa） |
| Boiling Point | -63.9℃ |
| Density（Vapor） | 6.05kg/㎥（21℃, 0.1013MPa） |
| Density（Liquid） | 1.32kg/㎥（25℃） |
