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Specifications
	Law AsH3
Purity	＞99.999	vol.％
Impurity
N2	＜2.0	vol.ppm
O2	＜1	vol.ppm
CO	＜0.1	vol.ppm
CO2	＜0.5	vol.ppm
CH4	＜0.5	vol.ppm
H2O	＜2.0	vol.ppm

Mixed Gas	Balance Gas	Concentration	Pressure		Cylinder		Valve
	N2、Ar、He、H2	1ppm～50％	48L 47L 10L 9.4L 3.4L 1L 0.35L		1ppm～5.6％ 5.6％Over～10％ 10％Over～20％ 20％Over～30％ 30％Over〜50％	14.7MPa 7.8MPa 3.9MPa 2.5MPa 1.5MPa	JIS.W22-14L
							G1/4 19.0R

※Maximum pressure for below 1L-sized cylinder: 4.9MPa

Special High Pressure Gas
Molecular Weight	77.95
UN Code	2188
Permissible Concentration	0.01 ppm（Permissible concentration） 0.1ppm（Maximum permissible concentration)
Description	Colorless Gas
Odor	Garlic Like Odor
Specific Gravity	2.69（20℃, 0.1MPa）
Boiling Point	-62.5℃
Density(Vapor)	3.243kg/㎥（20℃, 0.1013MPa）
Density(Liquid)	1.604kg/ℓ（-64.3℃）
Sphere of Explosion	0.8～98％

AsH3 mixture(AsH3＋N2 or Ar or He)

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AsH3 mixture(AsH3+H2)