Ar＋CH4 Argon+Methane Mixture Gas
| Specifications | Concentration | Pressure | Cylinder |
Valve for Specialty Gas Valve |
| Ar＋CH4 | 1～5％（CH4） 6％～50％（CH4） |
14.7MPa | 47ℓ, 10ℓ | JIS.W22-14R／ JIS.W22-14L |
Methane
Argon
| Specifications | Concentration | Pressure | Cylinder |
Valve for Specialty Gas Valve |
| Ar＋CH4 | 1～5％（CH4） 6％～50％（CH4） |
14.7MPa | 47ℓ, 10ℓ | JIS.W22-14R／ JIS.W22-14L |