C2F6 Hexafluoro Ethane
| Specifications | ||
| Purity | ＞99.995 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜25 | vol.ppm |
| O2 | ＜10 | vol.ppm |
| CO | ＜2 | vol.ppm |
| CO2 | ＜2 | vol.ppm |
| Acidity as HF | ＜1 | vol.ppm |
| H2O | ＜5 | vol.ppm |
| Cylinder・Contents Cylinder/Content |
Valve for Specialty Gas Valve |
|
| 47ℓ： | ～40kg | JIS.W22-14R/L／ DISS716 *option |
| 10ℓ： | ～5kg | |
| High Pressure Gas | |
| Molecular Weight | 138 |
| UN Code | 2193 |
| Description | Colorless Gas |
| Odor | Slight Ether Odor |
| Specific Gravity | 4.77（21℃,0.1013MPa） |
| Boiling Point | -78.2℃ |
| Density（Vapor） | 5.72kg/㎥ （21℃,0.1013MPa） |
| Density（Liquid） | 1.11kg/㎥（25℃） |
