BCl3 Boron Trichloride
| Specifications | ||
| Purity | ≧99.9999 | wt.％ |
| Impurity | ||
| N2+O2 | ≦5 | vol.ppm |
| CO2 | ≦5 | vol.ppm |
| COCl2 | ≦30 | vol.ppm |
| Na | ≦10 | wt.ppb |
| K | ≦10 | wt.ppb |
| Fe | ≦20 | wt.ppb |
| Cu | ≦10 | wt.ppb |
| Cr | ≦2 | wt.ppb |
| Pb | ≦2 | wt.ppb |
| Cd | ≦2 | wt.ppb |
| Al | ≦1 | wt.ppb |
| Ni | ≦5 | wt.ppb |
| Cylinder・Contents Cylinder/Content |
Valve for Specialty Gas Valve |
|
| 47ℓ： | ～50kg | JIS.W22-14L |
| 10ℓ： | ～10kg | |
| Molecular Weight | 117.2 |
| UN Code | 1741 |
| Description | Colorless Gas at Room Temperature |
| Odor | Choking Odor |
| Specific Gravity | 4.1 |
| Boiling Point | 12.5℃ |
| Density（Vapor） | 5.326kg/㎥（0℃, 0.1MPa） |
| Density（Liquid） | 1.434kg/ℓ（0℃） |
