SDS2 PH3 Phosphine
| Specifications | ||
| Purity | ＞99.999 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜2.0 | vol.ppm |
| O2 | ＜1 | vol.ppm |
| CO | ＜0.1 | vol.ppm |
| CO2 | ＜0.1 | vol.ppm |
| CH4 | ＜0.5 | vol.ppm |
| H2O | ＜2.0 | vol.ppm |
| Cylinder・ *Supply volume Cylinder / Capacity |
Valve for Specialty Gas Valve |
||
| SDS2 | 3X（6.6ℓ）： | 594g（650Torr±50Torr at21℃） | 1/2" VCR |
| 4X（2.25ℓ）： | 198g（650Torr±50Torr at21℃） | ||
| 7X（0.44ℓ）： | 40g（650Torr±50Torr at21℃） | ||
| SDS3 | 3X（7.5ℓ）： | 1,155g（650Torr±50Torr at21℃） | |
| 4X（2.5ℓ）： | 385g（650Torr±50Torr at21℃） | ||
※The definition of supply volume shall be a guaranteed value at using rate from 650 to 5Torr.
Desorption characteristics
Add SDS3
