PF3 Phosphorus Trifluoride
| Specifications | ||
| Purity | ＞99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜3000 | vol.ppm |
| O2 | ＜200 | vol.ppm |
| HCl | ＜500 | vol.ppm |
| Cylinder・Contents Cylinder/Content |
Valve for Specialty Gas Valve |
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| 3.4ℓ： | ～1kg | JIS.W22-14L |
| 1ℓ： | ～300g | |
| 0.35ℓ： | ～100g | G1/4 19.OR |
| High Pressure Gas | |
| Molecular Weight | 87.97 |
| UN Code | 1955 |
| Description | Colorless Gas |
| Odor | Odorless |
| Specific Gravity | 3.03（25℃, 0.1MPa） |
| Boiling Point | -101.2℃ |
| Density(Vapor) | 3.59kg/㎥（25℃, 0.1MPa） |
| Density(Liquid) | 1.574kg/ℓ（-101.2℃） |
