NF3 Nitrogen Trifluoride
| Specifications | ||
| Purity | ＞99.99 | vol.％ |
| Impurity | ||
| N2 | ＜30 | vol.ppm |
| O2 | ＜10 | vol.ppm |
| CO2 | ＜10 | vol.ppm |
| CF4 | ＜40 | vol.ppm |
| N2O | ＜10 | vol.ppm |
| H2O | ＜5 | vol.ppm |
| Cylinder・Contents Cylinder/Content |
Valve for Specialty Gas Valve |
|
| 47ℓ： | ～20kg （10.8MPa） | JIS.W22-14R/L／ DISS640 *option |
| 10ℓ： | ～3kg （8.5MPa） | |
| High Pressure Gas | |
| Molecular Weight | 71.00 |
| UN Code | 2451 |
| Permissible Concentration | TLV-TWA 10ppm 29mg/㎥ |
| Description | Colorless Gas |
| Odor | Musty Odor |
| Specific Gravity | 2.49（21℃,1atm） |
| Boiling Point | -129.0℃ |
| Density(Vapor) | 2.96kg/㎥（20℃） |
| Density(Liquid) | 1.538kg/㎥ |
| Sphere of Explosion | Positive |
